مقياس تدفق كتلة الغاز المصغر ESMF005 للأكسجين والنيتروجين والكربون
مبدأ العمل
يتكون مستشعر MEMS من مقاومين بلاتينيين، أحدهما يقيس درجة حرارة الغاز في الأنبوب، والآخر يُسخّن بتيار كهربائي، مما يحافظ على ثبات فرق درجة الحرارة بين المقاومين. عند تدفق الغاز عبر المقاومة الحرارية، يحدث تأثير تبريد. ومع ازدياد معدل التدفق، يزداد تأثير التبريد، وبالتالي تزداد طاقة المستشعر اللازمة للحفاظ على ثبات فرق درجة الحرارة بين المقاومين. تتناسب الطاقة المضافة إلى المقاومة الحرارية طرديًا مع معدل تدفق الكتلة.
ميزات المنتج
1. تقنية أساسية متطورة: تستخدم عملية التكامل الكهروميكانيكي الدقيق (MEMS)، حيث تدمج عنصر التسخين ومسبار درجة الحرارة في شريحة دقيقة. تعمل هذه التقنية وفقًا لقوانين الانتشار الحراري وقانون كينغ، دون الحاجة إلى وحدات تعويض إضافية لدرجة الحرارة والضغط، مما يسمح بقياس تدفق كتلة الغاز بشكل مباشر ودقيق وتجنب أخطاء القياس غير المباشر.
2. صغير الحجم واستهلاك منخفض للطاقة: يتميز الهيكل العام بصغر حجمه، وهو أصغر بكثير من عدادات التدفق التقليدية، مما يجعله مناسبًا لأماكن التركيب الضيقة؛ كما أنه يستهلك طاقة منخفضة للغاية، ويمكن تطبيقه على نطاق واسع على الأجهزة المحمولة والسيناريوهات التي تعمل بالبطاريات، مما يوفر تشغيلًا طويل الأمد موفرًا للطاقة.
3. أداء قياس ممتاز: دقة عالية ووضوح قوي، قادر على التقاط تغيرات التدفق الصغيرة بدقة (دقة تصل إلى 0.01 م/ث)؛ سرعة استجابة سريعة (مستوى الميلي ثانية)، قادر على تتبع تقلبات التدفق في الوقت الحقيقي، مع الحد الأدنى من التأخير والاستقرار المتميز.
4. مريح ومتين: فقدان ضغط ضئيل، لا يؤثر على كفاءة توصيل الغاز؛ تصميم محكم الإغلاق بالكامل، مقاوم للغبار والرطوبة، قابل للتكيف مع مختلف البيئات الصناعية والمختبرية المعقدة؛ سهولة التركيب، لا يتطلب تصحيحًا معقدًا، وتكاليف صيانة منخفضة.
5. توافق واسع: يمكنه قياس مختلف الغازات النظيفة، وهو متوافق مع غازات العمليات والغازات الطبية وغازات العادم وما إلى ذلك، وهو مناسب لاحتياجات مراقبة التدفق في أشباه الموصلات والطب وحماية البيئة والتحكم الصناعي والبحث العلمي وغيرها من المجالات، مما يوفر تنوعًا قويًا.
تفاصيل المنتج
