مقياس تدفق الكتلة الحرارية الرقمي المصغر واسع النطاق للغازات الحرارية لأجهزة استشعار MEMS
مبدأ العمل
يتكون مستشعر MEMS من مقاومين بلاتينيين، أحدهما يقيس درجة حرارة الغاز في الأنبوب، والآخر يُسخّن بتيار كهربائي، مما يحافظ على ثبات فرق درجة الحرارة بين المقاومين. عند تدفق الغاز عبر المقاومة الحرارية، يحدث تأثير تبريد. ومع ازدياد معدل التدفق، يزداد تأثير التبريد، وبالتالي تزداد طاقة المستشعر اللازمة للحفاظ على ثبات فرق درجة الحرارة بين المقاومين. تتناسب الطاقة المضافة إلى المقاومة الحرارية طرديًا مع معدل تدفق الكتلة.
ميزات المنتج
1. مستشعر MEMS، استجابة سريعة؛
2. نقطة صفر مستقرة، ودقة عالية، وقابلية تكرار جيدة؛
3. نسبة نطاق واسعة، نطاق تدفق قابل للتحديد؛
4. يمكن عرض التدفق الأمامي والتدفق العكسي؛
5. تتوفر مخارج إشارة متعددة؛
6. واجهة ميكانيكية قياسية اختيارية؛
تفاصيل المنتج
مواصفات المنتج
| دقة القياس | معدل التدفق أقل من 100 لتر/دقيقة | زائد أو ناقص (1.0 +0.4 FS) % | |
| معدل التدفق أكبر من 100 لتر/دقيقة | زائد أو ناقص (1.5 + 0.2 FS) % | ||
| مصدر الطاقة العامل | تيار مستمر 24 فولت / 100 مللي أمبير | وقت التسخين المسبق | من 3 إلى 4 دقائق |
| زمن الاستجابة | 50 مللي ثانية | وضع الإخراج | 4-20 مللي أمبير/RS485 |
| انعدام الانحراف | ±20 ملي فولت | تنسيق العرض | التدفق اللحظي، التدفق التراكمي |
| درجة حرارة التشغيل | -10~55 درجة مئوية | رطوبة التشغيل | أقل من 95% رطوبة نسبية (بدون صقيع، بدون جليد) |
| درجة حرارة التخزين | -10~65 درجة مئوية | طريقة التواصل | RS485 (بروتوكول Modbus RTU) |
| ضغط العمل | ≤1.0 ميجا باسكال | وسط المعايرة | هواء (25 درجة مئوية، 101.325 كيلو باسكال) |
| مقياس تدفق الكتلة الحرارية | ||||||
| نموذج | قطر الأنبوب | نطاق التدفق | واسطة | ضغط | المخرجات | واجهة المستخدم |
| ESMF004-08-100L | DN8 | 1-100 نانومول/دقيقة | غاز | ≤1.0 ميجا باسكال | 4-20 مللي أمبير/RS485 | G1/4 |
| ESMF004-10-1000 مل | DN8 | 10-1000 نانومول/دقيقة | G1/4 | |||
| ESMF004-15-100L | DN15 | 1-100 لتر/دقيقة | BSPT1/2 | |||
| ESMF004-20-500L | DN15 | 5-500 لتر/دقيقة | BSPT1/2 | |||
| ESMF004-25-1000L | DN20 | 10-1000 لتر/دقيقة | BSPT3/4 | |||